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浏览虑光片 
发布日期:2013-3-29 9:27:39 作者: 出处: 浏览:163 人次 【

TFT LCD面板之所以能产生色彩的变化,主要是来自彩色滤光片(Color Filter;CF)。LCD面板的显示原理,是透过驱动IC的电压改变,使液晶分子排排站立或呈扭转状,形成闸门来选择背光源光线穿透与否,因而产生画面,但此时所呈现的画面只有黑、白两色,因此,还需透过彩色滤光片的红(R)、绿(G)、蓝(B)3种彩色层提供色相,形成彩色显示画面,也因此含有红、绿、蓝3滤光层的彩色滤光片,便成为TFT LCD面板重要关键零组件,目前彩色滤光片占大尺寸TFT LCD总制造成本约16%。 主流制作方式 颜料分散法 彩色滤光片基板结构是由玻璃基板(Glass Substrate)、黑色矩阵(Black Matrix)、彩色层、保护层、ITO导电膜(ITO Film)组合而成。至于彩色滤光片制造方法包括染色法、颜料分散法、印刷法、电镀法、喷墨法等,彩色滤光片的红(R)、绿(G)、蓝(B)画素排列方式又可分为马赛克式、三角形式、直条式、四画素配置式。 颜料分散法除不受限画素配置选择性,并可获得良好的分光特性,同时又具高耐光、耐热性,无论在颜色特性、品质、可靠度等方面均占有优势,因此颜料分散法成为目前彩色滤光片之主流制作方式。    所谓颜料分散法之彩色滤光片制造工程,包括黑色矩阵工程、RGB工程、后工程、出货工程。首先在黑色矩阵工程,是先在无碱之硼玻璃基板上以溅镀形成氧化铬/铬之低反射二层膜,作为基板使用。此低反射二层膜即称为Metal Black。然后,再将Metal Black侧之正型光阻施以旋转涂布(Spin Coating),再对黑色矩阵的光罩图案照射紫外线并加以曝光、光阻显影后,将Metal Black蚀刻,形成黑色矩阵(BM)图案。 在黑色矩阵之图案形成后,即到RGB工程。所谓RGB工程就是在开口部形成R、G、B三色图案的工程,首先将着色为R的彩色光阻(Color Resist)以旋转涂装,经由R用图案光罩,照射紫外线并曝光,再使用碱性系显影剂将未曝光部份去除,形成R图案,再施于摄氏200度以上的后烤(Post Coating),使图案具有耐药性,接着以形成R图案相同的工程,重复形成G及B图案。 各图案之间均有黑色矩阵加以隔开,此功能是为增加显示时之对比度及避免杂色光产生,接着在后工程方面,是形成与TFT Array基板相对电极的ITO透明电极层,即作成彩色滤光片。最后,出货工程即为最后检查及捆包。 ITO蚀刻电着法又称电着/微影法,是彩色滤光片产品制造工艺技术4种方法中最具潜力的制作工艺。他具有以下优点:1.电着物体没有体积、形状、几何结构之限制;2.厚度均匀;3.经由电压、电流控制即可有效控制电着膜之厚度;4.适合自动化、效率高;5.电着材料充分被利用、不浪费;6.被电着物不受限制,一条生产线可进行多种产品之电着。 本文将详细介绍了这一工艺技术,全文分为以下章节: 一、前言从另一角度看,为了降低成本,玻璃基板大面积化已成为必然的趋势(图四),当玻璃基板大过500mm×400mm时,传统以旋转涂布法,涂布彩色光阻之颜料分散法,便将面临涂布机的加工极限,且涂布时材料损失会更高。此时ITO蚀刻电着法的优点就显现出来。因为电着法几乎没有玻璃基板面积太大之限制,同时画素之厚度容易控制,整体平坦度佳是其无法抗拒的优点(见图五)。 二、ITO蚀刻电着法原理电着过程所产生的物理化学现象有电泳(Electrophorese)、电解沉积(electrodeposition)、电解(Electrolysis)、电渗透(Electrosmosis)等,其定义及行为在表三中有详细说明。 三、ITO蚀刻电着法彩色滤光片工艺制程说明1、方法一(参考图九)2、方法二(参考图十)3、。 四、应用 五、结语 附表:一、各种彩色滤光片特性说明    二、典型电着涂料的化学配方    三、电着过程现象说明    四、Nippon Paint与Nippon Printing方法比较    五、电着微影法彩色滤光片应用例 附图:一、ITO层被刻蚀后的玻璃基材    二、ITO像素蚀刻成三角状排列状    三、随着ITO线长,阻抗有所变化    四、基板面积增大、滤光片数目增加,使得单片成本降低的趋势图    五、彩色滤光片平坦度示意图    六、阴阳离子型电着涂料反应式    七、阴阳离子型电着装置    八、阴阳离子电着,被镀物表面化学反应    九、Dai Nippon Printing制程图解说明    十、Nippon Paint制程方法    十一、多阶显影形光阻特性说明    十二、多阶光罩    十三、彩色滤光片透光度光谱图    十四、彩色滤光片平坦度说 喷墨法彩色滤光片制程技术 技术内容重点 喷墨打印技术(Inkjet Printing)自1980年发展至今日已是一趋于成熟稳定之技艺。事实上,此技术之微流体组件(Micro fluid device)基础技术的潜在应用面(Potential applications)是可以更加广泛的。其中,我们注意到光电领域(OE system)之新近蓬勃发展的LCD平面显像技术方面,其必要组件之一的彩色滤光片(Color filter,简称CF)之RBG(Red、Blue、Green)三原色细密排列分布而成之微米级矩阵图样(Micro-dot Matrix Pattern)在本质特征上,如图1-1所示,似乎是适合于此微流体组件来着色印图。从技术演进上分析,我们可发现此将可以有制程简化(>2/3)与环保、减料(>90%)等诸多优势。因此,本「喷墨法彩色滤光片制程技术」研究计画,乃于奠基于喷墨打印技术(Inkjet printing technology)上,衍生运用其于生产彩色滤光片(Manufacturing color filter)之完备制造系统关键技术开发。 在本技术研究中,其研究步骤上是先搜集浏览文献,了解过去与现今「彩色滤光片」之技术发展现况;然后,进一步以「喷墨技术」为本,分析规划出最重要的研究主轴与方向,最后便据此完成基本规划来进行细部深入的探讨。其中,在每个细项的研究主题上,所使用的方法(Methodology)是先作出系统理论(Theory)与物理模型(Physical Model),并推衍出相关必要技术研发探索; 然后,依据此理论与模型来设计出测试装置(Test Robot),用以实际验证理论模型之功能(Function)与效益(Performance)。此些设计将包括改装现有机台(Reconstruction)和创新系统平台(Invention)之模型设计、绘图、及制作验证。并且,此些实验测试亦将可发现新问题,然后修正原来之理论模型,再重新检讨、设计、与实验测试。此理论模型(Model)与实验测试(Experiment)不断地交互运用的方法将运用于各个细项研究主题中,以期获得功能良好且效益高的创新技术。 关键技术 我们都知道,发展一创新之应用面是需要考虑许多技术要项(Core Technologies)。在喷墨打印技术观点上,运用该技术来完成彩色滤光片亦是如此。如同前言所述,于此,进一步从发展分析上,本研究计画目标应该从下面四大项关键技术(Key Technology) 上,如图1-2所示,仔细规划设计开发此「喷墨法彩色滤光片(简称Inkjet CF)」之完备制造技术,包括有:墨水研究开发技术(Inkjet Ink for CF);喷墨头研究开发技术(Inkjet Head for CF);喷印系统控制研究开发(Inkjet Printing System for CF);黄光制程研究开发(Photolithography Process for CF);图1-2:喷墨法彩色滤光片研究计画之四大关键技术。 技术规格 <A>-完成开发彩色滤光片制程技术之技术指针如下: 喷墨法制程研究设计; 喷墨打印机台设计; 喷墨打印控制技术。 <b>-此彩色滤光片之规格指针如下: 适用图样:Strip Pattern for Each Color; 颜色:R、G、B三色; 分辨率︰£ 90dpi(One pixel with R、G、B); 图样大小:£ 3 inch ’ 3 inch。 应用范围 TFF LCD Color Filter、STN LCD Color Filter、Color on Array(COA) 、PLED(Polymer LED)、OLED(Organic LED)等平面显示器产业应用。 技术特色与竞争力 现今其主流制造技术「颜料分散法(Pigment Dispersed Method)」仍存在旋转涂布(Spin Coating)技术无法三色同时制造且大量浪费颜料光阻等缺失;因此,本研究提出以「喷墨技术」为基础,创新提出利用液体表面张力(Surface Tension Drive)之「微流法(Micro Fluidic Method)」制造技术,独立完成制造彩色滤光片的完整系统设计架构与验证测试(Complete System Scheme and Verification),获得一完整微流法系统验证平台,能够在5寸玻璃基板打印3寸’3寸出75dpi彩色滤光片RGB三色图样。在研究成果里,技术特色包括基础理论方法及系统设计(发表2篇论文于IS&T, NIP17 Conference Proceedings Florida,USA.Sep.2001,-「Flow Behavior of Micro Inkjet Drop.」 by Chen et al,pp.776-779,& 「A Novel Application of Inkjet Printing Technology.」 by Cheng et al,pp739-743、及1篇论文于2001台湾光电技术研讨会「Study of Color Filter by Inkjet Method」 by Chen et al),以及可行性评估(发表1篇论文于光学工程季刊75期,Sep.2001,-「喷墨法彩色滤光片可行性分析研究」,pp.11-15);同时,此技术提出3篇专利申请(「喷墨法制程与设备」、「改善液滴分布方法」、「微流体制造方法」),具有自我专利技术竞争力。 研发产品 LCD Color Filter 产品功能特色 自1990年代以来,液晶显示器(LCD)技术快速发展至今明显地以「穿透式(Transmittive Type)」为主流技术,其具有机构简单、显示品质佳、及生产成长低等诸多优点。据此,当吾人仔细考察其组成结构组件时,明显地可以发现到至少包括有「背光源(Back Light)」、「偏光板(Polarizer)」、「薄膜晶体管(Thin Film Transistor)」、「配向膜(Alignment Film)」、「液晶(Liquid Crystal)」、「彩色滤光片(Color Filter)」等六大主要单元。并且,如图2-1A所清楚显示,其组成是依据1.背光源(Back Light)a2.偏光板(Polarizer)a3.薄膜晶体管(Thin Film Transistor)a4.配向膜(Alignment Film)a5. 「液晶(Liquid Crystal)a6. 配向膜(Alignment Film)a7.彩色滤光片(Color Filter)a8. 偏光板(Polarizer)之顺序完成显示器整体组合。 图2-1A:典型穿透式液晶显示器暨彩色滤光片组成单元。作为液晶显示器(LCD)主要单元之一的「彩色滤光片(Color Filter)」,其细部结构可进一步区分为「玻璃基板(Glass)」、「黑色数组(Black Matrix)」、「颜色层膜(Colors)」、「导电层膜(ITO)」等四大细项组成。并且,在厚度尺寸上,该玻璃基板一般为毫米尺寸(mm、ie.10-3m)、黑色数组为次微米尺寸(sub-mm、ie.10-7m)、颜色层膜为微米尺寸(mm、ie.10-6m)、导电层膜为次微米尺寸(sub-mm、ie.10-7m);因此,在制造技术上,该微结构(Micro Structure)明显地暗示着现今成熟的黄光制造技术(Photolithography)可能是适用来制造此单元对象。在彩色滤光片(Color Filter)基本功能及作用原理上,吾人可阐明如下。首先,如图2-1B所示,当1.背光源(Back Light)被作动发射出白色光(White Light)时,将依序穿透过2.偏光板(Polarizer)形成偏极光及3.薄膜晶体管(Thin Film Transistor)之玻璃基板(Glass Substrate)为止。接续着,如图2-1C所示,在此同时若3.薄膜晶体管(Thin Film Transistor)被电极驱动而导正5. 「液晶(Liquid Crystal)排列以允许该白色光(White Light)通过时,则其将进一步穿透过7.彩色滤光片(Color Filter)。此处注意到,此滤光片之颜色层膜及黑色数组组合图样(Pixel Pattern)及色彩(Color Index)将完全决定出进入8. 偏光板(Polarizer)再次光场偏极后之彩色光谱(Light Spectrum)及色度(Colors)。 图2-1B:典型穿透式液晶显示器之背光单元作动时发射出白色光。 图2-1C:典型穿透式液晶显示器之背光单元暨薄膜晶体管同时作动时,发射出之白色光穿透过彩色滤光片,最终分解成红、绿、篮三原色光,达成全彩显示之目的。
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